納米壓痕實(shí)驗(yàn)儀顧名思義就是在納米尺度上對(duì)樣品的硬度與彈性模量進(jìn)行測(cè)量，主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試，測(cè)試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計(jì)算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。

　　現(xiàn)如今隨著新能源以及新材料行業(yè)的不斷發(fā)展，尤其是薄膜材料領(lǐng)域的發(fā)展，納米壓痕試驗(yàn)儀的應(yīng)用也越來越廣泛。納米壓痕不僅可以研究材料的硬度，還可用于研究材料接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞損耗模量等特性。

　　Anton Paar(安東帕)在材料物性測(cè)試方面有著積累了很多的經(jīng)驗(yàn)，這個(gè)品牌始于1922年，迄今為止已有百年歷史。而他們推出的納米壓痕實(shí)驗(yàn)儀NHT3 不僅耐用，而且快速且易于用于多種高級(jí)壓痕模式，不光可以測(cè)試壓痕，還集成了表面劃痕測(cè)試。得益于其頂部表面參比的設(shè)計(jì)，其具有高載荷框架剛度 (107 N/m) 和出色的熱穩(wěn)定性(原始漂移率低至0.003 nm/s)可實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。NHT3 還兼容液體測(cè)試，并在特定配置中提供了ECR 測(cè)試模式。