儀器.jpg "顯微鏡")
.png "萬 能試驗機(jī)")
境試驗箱.png "環(huán)境試驗箱")
機(jī).jpg "進(jìn)口打標(biāo)機(jī)")
測量機(jī)/x5.jpg "長度測量")
測儀器.jpg "表面光學(xué)檢測")
測量機(jī).jpg "三坐標(biāo)測量")
超高分辨場發(fā)射掃描電鏡 產(chǎn)品介紹
Verios 5 XHR SEM超高分辨掃描電鏡產(chǎn)品介紹：
SmartAlign 技術(shù)
使用 SmartAlign 技術(shù)時，用戶無需對電子束鏡筒進(jìn)行任何對中，這不僅能最大限度地減少維護(hù)，還能提高電鏡生產(chǎn)率。
創(chuàng)新的電子光學(xué)系統(tǒng)
包括 Thermo Scientific 獲得專利的 UC+（單色器）電子槍、ConstantPower 透鏡和靜電掃描，可實現(xiàn)準(zhǔn)確穩(wěn)定的成像。
亞納米級分辨率Elstar Schottky 電子源單色器（UC+）FESEM 技術(shù)和性能，實現(xiàn)從 1 至 30 keV 的亞納米級分辨率。
一致的測量結(jié)果
Verios 掃描電鏡非常適合實驗室計量應(yīng)用，能夠在高放大倍數(shù)下校準(zhǔn)經(jīng) NIST 認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)品。
低劑量操作和最佳對比度選擇
結(jié)合了先進(jìn)的高靈敏度、鏡筒內(nèi) & 透鏡下探測器和信號過濾功能 可實現(xiàn)低劑量操作和最佳襯度選擇。
輕松訪問射束著陸能量
低至 20 eV 也可實現(xiàn)用于真正的表面表征的極高分辨率。
無人照看的 SEM 運(yùn)行
借助 AutoScript 4 軟件，可選配基于 Python 的應(yīng)用程序編程界面 (API)
大腔室
可從兩種高精確穩(wěn)定的壓電陶瓷驅(qū)動樣品臺中進(jìn)行選擇。
超高分辨場發(fā)射掃描電鏡 技術(shù)參數(shù)
Verios 5 XHR SEM超高分辨掃描電鏡規(guī)格：
電子束分辨率
在 30 kV STEM 下 0.6 nm（可選）
在 2-15 kV 下 0.6 nm
1 kV 時 0.7 nm
在 500 V 下 1.0 nm
標(biāo)準(zhǔn)檢測器
ETD、TLD、MD、ICD、射束電流測量、Nav-Cam+、IR 攝像機(jī)
可選檢測器
EDS、EBSD、RGB 陰極發(fā)光、拉曼、WDS 等
載物臺偏倚（光束減速、可選）
標(biāo)準(zhǔn)配置包括高達(dá) -4000 V
樣品清潔
標(biāo)配配置包括集成式等離子清洗裝置
樣品操縱
Verios 5 UC
5-軸電動共心載物臺，配有 XYR 軸壓電驅(qū)動。
XY 范圍 150 x 150 mm2，70° 傾斜范圍。
通過門加載
Verios 5 HP
已安裝腔室
超穩(wěn)定 5 軸所有壓電驅(qū)動載物臺。
XY 范圍 100 x 100 mm2，70° 傾斜范圍。
通過自動負(fù)載鎖加載。
腔室
379 mm 內(nèi)徑、21 個端口
軟件選項
使用劃分和拼接進(jìn)行自動大面積采集的 Thermo Scientific Maps 軟件；相關(guān)工作
Thermo Scientific AutoScript 4 軟件；基于 Python 的應(yīng)用程序編程界面
圖案生成軟件
TopoMaps 用于圖像彩色化、圖像分析和 3D 表面重建
超高分辨場發(fā)射掃描電鏡 標(biāo)準(zhǔn)配置
超高分辨場發(fā)射掃描電鏡 可選配件
超高分辨場發(fā)射掃描電鏡 相關(guān)視頻
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儀器/日本Nikon顯微鏡/方JCM 6000臺式電子掃描顯微鏡.jpg "臺式電子掃描顯微鏡")
