S-neox三維光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品介紹

S-neox 3D光學(xué)輪廓儀! 輪廓測量法是一種用于從表面提取地形數(shù)據(jù)的技術(shù)。這可以是單點掃描，線掃描甚至是完整的三維掃描。輪廓測定法的目的是獲得表面形態(tài)，臺階高度和表面粗糙度。這可以使用物理探針或通過光來完成。

產(chǎn)品描述

主要功能

共聚焦

共聚焦技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實現(xiàn)臨界尺寸的測量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時，共聚焦在光滑表面測量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）。專利的共聚焦算法保證Z軸測量重復(fù)性在納米范疇。

干涉

a 相位差干涉 (PSI)

相位差干涉是一種亞納米級精度的用于測量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證亞納米級的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場測量。

a 白光干涉 (VSI)

白光干涉是一種納米級測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級的縱向分辨率。

多焦面疊加

多焦面疊加技術(shù)是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗，特別設(shè)計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)的最大亮點是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（最大86°）。此功能對工件和模具測量特別有用。

※薄膜測量

用分光反射計可以完善地解決薄膜厚度測量。S neox 在增加了分光反射計后可以測量10nm的膜厚和最多10層膜。由于是通過顯微鏡頭測量，最小的測量點為5um。因為系統(tǒng)里有組合的LED光源，所以實時觀察和膜厚測量能同時進(jìn)行。

測量及分析軟件

SensoSCAN

SensoSCAN是一款簡潔友好的操作軟件。它將引領(lǐng)用戶進(jìn)入3D的世界，提供獨一無二的用戶體驗。在軟件界面內(nèi)，用戶可以直觀明確地了解所用的測量方式，同時還能顯示和分析數(shù)據(jù)。

強(qiáng)大的專業(yè)分析軟件

增配SensoPRO LT 或SensoMAP軟件就能輕易實現(xiàn)全自動測量和分析。

物鏡及系統(tǒng)參數(shù)

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S-neox三維光學(xué)輪廓儀技術(shù)參數(shù)

物鏡

	明面								干涉
放大倍數(shù)		2.5X	5X	10X	20X	50X	100X	150X	2.5X	5X	10X	20X	50X	100X
數(shù)值孔徑		0.075	0.15	0.3	0.45	0.8	0.9	0.95	0.075	0.13	0.3	0.4	0.55	0.7
工作距離(mm)		6.5	23.5	17.5	4.5	1.0	1.0	0.2	10.3	9.3	7.4	4.7	3.4	2.0
視場范圍(mm)		7016x5280	3508x2640	1754x1320	877x660	351x264	175x132	117x88	7016x5280	3508x2640	1754x1320	877x660	351x264	175x132
像素分辨率(mm)		5.16	2.58	1.29	0.65	0.26	0.13	0.09	5.16	2.58	1.29	0.68	0.26	0.13
光學(xué)分辨率(mm)		1.87	0.93	0.46	0.31	0.17	0.15	0.14	1.87	1.07	0.46	0.35	0.25	0.2
測量時間(s)		>3S							>3S

	共聚焦							PSI/ePSI/\/SI
縱向分辨率(nm)	300	75	25	8	3	2	1	PSI/ePSI 0.1nm(0.01nm with PZI) VSI 1nm
最大斜率（°）	3	8	14	21	42	51	71	3	8	14	21	25	42

	多焦面疊加
最小可測粗糙儀	Sa>10nm
最大斜率(°)	up to 86°

其他可選鏡頭

共聚焦/多焦面疊加可選：水鏡，長工作距離超長工作距離、帶景深調(diào)節(jié)環(huán)等鏡頭

干涉可選：可調(diào)分光鏡

1 在2/3英寸攝像頭和0.5倍放大下獲得的最大視場

2 像素點間的實際尺寸

3 由瑞利準(zhǔn)側(cè)內(nèi)*射極限的一半計算所得并用藍(lán)色LED照明

4 改時間是用共聚焦鏡頭掃描21張，干涉鏡頭掃描10um高度所得

5 測量標(biāo)準(zhǔn)鏡面并比較兩次測量結(jié)果所得。

用主動式防震系統(tǒng)在PSI 10 相平均時測得。

0.01nm精度需要PZI 裝置和恒溫房間

6 官話表面測得的數(shù)據(jù)，在粗糙表面可達(dá)86°。

S-neox三維光學(xué)輪廓儀標(biāo)準(zhǔn)配置

系統(tǒng)配置

CCD像素	1360x1024 pixels
LED光源	紅（630nm）,綠（530nm）,白（550nm）
樣品高度	標(biāo)準(zhǔn)支架40mm，可調(diào)節(jié)支架150mm（更大可定制）
平臺尺寸	最大700x600mm
Z軸移動行程	標(biāo)準(zhǔn)支架40mm，PZT裝置200um
Z軸測量范圍	PSI120um;ePSI100um;VSI10mm,共聚焦10mm，多焦面疊加37mm
Z軸線性度	標(biāo)準(zhǔn)支架<0.5um/mm,PZT裝置<30nm/100um(0.03%)
Z軸分辨率	標(biāo)準(zhǔn)支架2nm，PZT裝置0.75nm
臺階高度重復(fù)性	0.1%
臺階精度	0.5%
樣品反射率	0.05% to 100%
顯示分辨率	0.001nm
電源	交流電100-240AC，50/60Hz
電腦配置	intel處理器，2560x1440分辨率顯示器（27英寸）
操作系統(tǒng)	Mincrosoft Windows 7
工作環(huán)境	溫度：10-35°，濕度<800%，海拔<2000m

S-neox三維光學(xué)輪廓儀可選配件

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S-neox三維光學(xué)輪廓儀相關(guān)產(chǎn)品

該輪廓儀使用到2020年3月，沒有任何故障。帶有除振臺。工廠主要使用在傳感器生產(chǎn)上。共聚焦技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實現(xiàn)臨界尺寸的測量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時，共聚焦在光滑表面測量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）。專利的共聚焦算法保證Z軸測量重復(fù)性在納米范疇。